第二千六百四十六章 关键的PAS5500（1/2）

「你想说台积电火灾那次是吧？」

「是啊，台积电诞生时是台岛工研院和飞利浦的合资公司。在台积电里，飞利浦占27.5%股分，是最大外部股东。因此飞利浦才会毫无保留地把MEGA生产线开放给台积电学习，然后再原封不动地把整条生产线搬到台湾给台积电。」

「意外的是88年底新生产线快装好的时候发生了火灾。台积电把所有被烟熏了的光刻机退回AL，重新下了十七台新机的订单。AL刚好非常缺钱，这些订单在关键时刻救了急。而为火灾买单的保险公司成了AL 1989年最大的客户，让AL第一次实现盈利。」胡长风说道：「所以说命好有时候也是一种能力。」

「哈哈哈，再后来就是1992年，飞利浦来大陆了。」

「这个我就太熟悉了。」胡长风说道：「当时沪上组件五厂、上无七厂和上无十九厂与飞利浦公司洽谈合资，成立了沪上飞利浦半导体公司，在漕河泾建成我国第一条5英寸Foundry线。打破了我国没有Foundry线的历史。这个事情当时就是我主抓。」

「说起来也是可恨，当时我们也想引进PAS 2500来着，但是单线500万美金的价格，实在是太高了，加上我们当时根本就没有配套的6英寸晶圆生产能力，最后不得不选择已经处于淘汰边缘的5英寸线。」说起创业史，胡长风除了唏嘘还是唏嘘。

「5英寸也很不错了，虽然做不了超大，但是起码解决了LSI生产的问题，为我们的存储芯片事业打下了坚实基础。」周至笑道：「现在金融业和各个单位尝到了甜头，国内各类存储卡的需求激增，那条线现在都忙不过来了吧？」

「嗯，接下来，就该是从六英寸过渡到八英寸的那一关而来吧？」胡长风说道：「我们的809工程，其内核就是引进一条八英寸芯片生产线。结果差点栽到里头。」

「也不能完全怪决策。」周至到现在倒是想明白了：「当年这个项目出问题，还有一个重要原因，那就是后续的投资没有跟上，IBM为这个生产线，可是豪砸了10亿美金，而我们一国的外汇储备，前年也才百亿美元，真没多余的钱做后续。」

「好在是熬过来了。」胡长风说道：「顺便还给产品升了个级，没被国际水平甩开太远。」

「对，获得八英寸晶圆生产线是关键。」周至说道：「有了这个基础，我们引进三星产品线和松下闪存技术，进行存储芯片生产才有了可能。不过在光刻机领域，日系的运气就不如欧系了。」

「从6英寸制程过渡到8英寸的过程中，从G线到I线的技术演进中，两家日本公司犯了一个错误。尼康和佳能计划跳过365nm的i线，直接从465nm的G线过渡到KrF的248nm的雷射。」

「这是一个无比超前的计划，如果成功，光刻机将直接进入DUV时代。」

「不过他们低估了DUV的技术难度。两家公司的设备无法顺利通过测试，体积和耗能均非常大，而且没有对应的DUV光刻胶，最终被迫回头，重启365nm的i线设备研发。」

「而AL却稳扎稳打，他们继续研发了基于I线光源的PAS 5500光刻机，但是将涉及架构更换成了可以改进的新机器架构。」

「这个架构的设计非常灵活，镜头和光源可以快速更换，先期匹配高分辨率i线光源，后期再匹配DUV镜头的KrF雷射器，一举取得了先发优势。」

「在晶圆台研发上，PAS 5500也没有一开始就决定到底是使用H型晶圆台，还是长短冲程发动机。而是同样保留了两路适配架构，这是意义非常的方法。」

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