713 搞出光刻机挺直腰杆子（2/2）

陆飞笑道：「落后不可怕，可怕的是不追赶，你看我们现在，已经步入正轨了。」

「可不是嘛，快赶上小霓虹了！」

孙红军嘿然一笑。

就像霓虹在新能源上梭哈错了氢能，在光刻机路在线，不去梭哈湿刻法，而是全力押注干刻法，却失败了，白白耗费人力财力时间。

今后，逻辑的光刻机就可以跟尼康、佳能竞争低端光刻机市场，先干翻了小霓虹！

「所以啊，尹教授，我知道你很急，但你先别急，ArFi会有的，EUV也会有的！」

陆飞环顾四周，激励士气。

「陆总！」

尹志尧郑重地点了下头，他作为中微半导体的领军人，非常清楚逻辑是两条腿走路，既跟微电子为首的单位合作ArFi光刻机，又跟长春光机为主的科研所研究EUV光刻机。

而且满世界找帮手，比如徕卡。

「老孙，这次的奖励方案做出来了嘛？」

陆飞侧目望向孙红军。

「已经拟出个初步方案，就等您来定。」

孙红军应了一声。

「嗯，但凡这次参与光刻机项目的，哪怕是拧了个螺丝的，也要多发奖金！」

陆飞双手叉腰，「65n有了，还怕没有ArFi？没有EUV？接下来我们就向32n、28n，甚至28n以下的发起冲击，不管是10年、20年，还是多长时间，也要搞出来！把这颗工业明珠给我摘下来，当弹珠卖！」

「我就是怕耽误了先进位程工艺的进程，毕竟我们买不到最先进的DUV光刻机。」

尹志尧脸上露出一丝愧疚。

「梁博士，你的意思呢？」

陆飞把目光投向梁孟松。

「陆总放心，难度肯定是有的，但我可以保证，32n，今年下半年就能风险性试产。」

梁孟松话锋一转，说出难题。

芯片代工制造的过程非常复杂，需要多方面的技术和设备支持，就像14n是个关键的分界线，28n也是个关键的分界线。

但设备还不是他最担心的，他最担心的是中芯被台积电打倒之后，下一个就轮到逻辑。

「这种情况我不是没有考虑。」

陆飞摆了摆手：「所以才把逻辑、澎拜的三分之一的产能放在台积电，就是让章忠谋顾虑，既想对付我们，又怕失去我们的订单。」

「可按我对章忠谋的了解，肯定不会善罢甘休。」梁孟松忧心道，「另外还有三星……」

陆飞笑道：「梁博士，三星现在的技术负责人还是蒋尚义，哪怕拿到了EUV光刻机，你觉得他有这个能力带领三星冲击制程吗？」

「没有！」

梁孟松想也不想，「没这个可能！」

「对嘛，就连40/45n工艺，三星还是靠我们，很难说不会又在一个节点上卡住，难以突破。」陆飞严肃说，「这么一比，台积电才是我们最大的敌人！不管现在，还是将来！」

「台积电那边计划今年过渡到32n，然后最早在明年转向28n，我们的进度并不比台积电慢。」梁孟松自信满满。

「梁博士，假如，我是说假如，假如没有最先进的代工厂给逻辑造芯片，假如逻辑还造不出比较先进的光刻机，假如……」

陆飞把前世华为遭到的打压说了一遍。

「陆总，这种极限施压情况下，也不是没有办法，可以考虑多重曝光技术。」

梁孟松沉吟片刻，一一列出优缺点。

尤其是缺点，虽然经过多重曝光工艺，可以改变光刻机的制程极限，但良品率低。

而且每次曝光都需要校准，而对准误差会在多次曝光中积累，进而影响芯片的质量。

「除了损耗，就是成本，多次曝光需要更多的光刻胶、耗材和设备，这个投入可能……」

不等梁孟松往下说，孙红军突然打断。

陆飞和他相视一笑，光刻机的光刻胶等材料，早就纳入备胎计划。

「梁博士、尹教授，我们已经投资了博康化学等十几家公司，研发攻克光刻胶这些重要材料。」孙红军笑说，「而且找了德国的明斯特、亚琛工业等多家高校，跟我们国内的科研院校，合力打破霓虹这方面的优势。」

「啊？」

梁孟松和尹志尧面面相觑。

「这是公司的绝密，注意保密。」

陆飞郑重地叮嘱，现在需要偷偷摸摸地发育，特别是光刻机，最缺的就是发育时间。

「陆总，孙总，你们放心！」

梁孟松信誓旦旦地保证，就算台积电、三星的光刻机领先逻辑，哪怕制程工艺先突破28n，甚至20n也无妨，他能想办法从28n，跨越22n、20n，直接到14n。

把因为光刻机设备和技术封锁而落后的代差跟时间，统统给追回来！

「是不是又要跳代？」

陆飞把眼睛眯成一条缝。

梁孟松点头说：「只要尹总能造出28n光刻机就够了，别是14n，就是7n，我也能你们给搓出来！把光刻机上的劣势给扳回来！就是不知道陆总敢不敢再跟我拼一次？」

「有什么不敢？」

「拼，只管给我拼！不要给我心疼钱，我最不怕花钱，但最怕你们不花钱。」陆飞睨了眼孙红军，「老孙，除了德国，霓虹那边也盯紧点，特别是佳能、尼康的动静。」

「尼康那边好像认命了，倒是佳能，选择了另一条道路，研究纳米压印（NIL）。」

孙红军也说不出个所以然。

陆飞让他再探再报，跟进佳能的NIL路线，然后冷不丁来一句，「光刻厂有没有搞头？」

「什么？！」

梁孟松等人一脸震惊。

光刻厂？

只听过光刻机，光刻厂是什么东西？

「咳咳，我是这么想的，ASML的光刻机，为了卖出去，才要小型化、产品化、量产化，这个难度很大，但如果我们把光刻机不做小，而是当基础设施来盖，比如一个足球场大小，是不是可以弥补光源、镜片这些问题？」

陆飞看他们一脸茫然，于是换种说法。

相当于造不出热水器，就建个锅炉房，然后接水龙头，一次性接十几个，能放出428n、14n、7n这些不同温度的水。

「这个提法，我好像在哪里听过……」

梁孟松吸了一口气，思索了片刻，突然灵光一现，「对，水木！水木大学有篇论文！」

「真有？」

孙红军、尹志尧简直不敢相信。

「不过只是一个概念，叫稳态微聚束加速器光源，也叫SSMB。」梁孟松解释说，「我关注这个，还是因为提出这个概念的教授，是杨振柠先生的弟子，可行性还有待检验。」

「只要有可能，就值得投资。」

陆飞计划去趟水木大学，顺便把自己存那里一直没时间取的EMBA硕士证书给领了。

「陆总，在这之前，我们是不是先去见见章汝京？章总一直在等您从香江回来。」

孙红军提醒了句，年初中芯跟台积电长达六七年的国际诉讼，达成和解，但作为条件之一，章汝京不得不被迫辞职，离开中芯。

「E，见，必须见！」

陆飞叮嘱安排两人见面的行程计划。

有个项目，非他这位老帅不可！