第二十章 真空镀膜（上）（2/2）

舱体最上面是一块大的圆形金属挡板，以及一个可以旋转的样品台。

「上面这个肯定是样品台了，为什么下面要加装一块金属挡板呢？」许秋问道。

「这块金属挡板叫做样品挡板，当他处于打开状态时，可以有效阻挡气体分子沉积在样品表面。因此，我们可以利用它，控制蒸镀的开始和结束时间，得到精确的厚度。」陈婉清道。

将舱内情况了解完毕后，许秋开始做蒸镀前的准备工作。

两批基片的器件结构不同，需要分两次进行蒸镀。

第一批是正常结构，也就是蒸镀钙和铝。

许秋首先在钨篓中装满99.995%纯度的铝锭，然后让学姐帮忙打开钙束源炉的挡板。

挡板的开关是数控的，需要在手套箱外的总控台操作。

打开挡板后，他取出束源炉内部的陶瓷坩埚，将上次使用后剩余的残渣倒出，再加入两勺新的99.995%纯度的钙粉末。

陶瓷坩埚是特质的，可以至少承受1000摄氏度以上的高温，且十分稳定，不会与靶材反应，产生杂质。

完成后，他让学姐关闭束源炉挡板。

最后，他将一片片基片正面朝下放置在样品支架上，再将样品支架放回样品台。

「学姐，没有问题吧，可以关舱门了吗。」许秋看向陈婉清。

「嗯嗯。」陈婉清点点头。

许秋将舱门从右往左推回原位，然后旋转舱门上下的两个旋钮，直至无法转动为止。

……

许秋离开手套箱，和学姐一同来到总控台，因为剩下的操作主要在总控台完成。

总控台接近两米高，由十几个模块拼接而成，一共有30多个控制按钮。

「旁边有操作说明，严格按照说明来做就行。」陈婉清道。

许秋拿起《真空镀膜仪使用说明》翻看，只有两页A4纸，并没有想像中的多。

他表面上在看说明书，实则在心中查看系统。

系统已经将学姐的技能拷贝了，可以看到每步操作的细节，所以文本版的说明书意义已然不大。

「我看完了。」许秋道。

「这么快？」陈婉清道：「行，那你来操作吧，有什么问题我会提醒你的。」

第一步是打开循环水系统和空气泵。

前者用来冷却分子泵，而后者用来推动样品挡板。

许秋找到位于总控台后面的循环水设备，按下绿色的启动键，便听到仪器发出嗡鸣声，仔细听的话还有水流声。

然后，他走到空气泵旁边。

空气泵上有一个橙红色的瓶盖大小的开关，需要拉起来，才能启动机器。

许秋试着向上拉，开关却纹丝不动，他也不敢太用力，便说道：

「学姐，怎么弄。」

「用力弄啊。」

「砰！」